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干式氦气检漏仪 UL1000 Fab

类别:检漏仪   发布时间:2019-01-11 10:50   浏览:


 


产品介绍


  • 品牌   INFICON
  • 型号   UL1000 Fab
功能
  • 15 级的宽测量范围
  • 较短的抽气和响应时间
  • 移动式全金属外壳,增加了便利性,具有绝对可操作性
  • I-CAL 确保了在所有测量范围中提供最快的泄漏响应时间
  • 抑零功能和自动积分时间校正,可提供快速、可靠的测试结果
  • 含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计,提供较高氦气抽气能力和高压缩比
  • 旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
  • 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
  • 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
  • 通过电子邮件进行软件更新
  • 含两个灯丝离子源(3 年质保)的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
  • 内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果

典型应用

  • 对半导体加工工具执行维护作业,无论是否具有自有泵支持
  • 需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
  • 在现有工具中安装前对部件执行检漏
  • 工艺气体系统的检查和安装
  • 内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试